エッチング装置のエンジニアには、どんな経験スキルを期待しているのでしょうか。

エッチングにはいくつかの要素技術があります。半導体のエッチングは真空装置の中にガスを流しこみ、RF電源を用いたプラズマを発生させて行うというものです。そのプロセスを追っていくエンジニアには半導体製造工程に関わる知識や経験とともに、理学的、化学的な知識が必要となってきます。もっとも、こうしたプロセスではプラズマが関わるとともに、ガスの流量やどんな濃度で送るのかなどによって、均一性などの結果は大きく異なり、簡単に答えの出る世界ではないのです。そのため、シミュレーションなどの手法も交えつつも、トライ＆エラーや経験に基づく緻密な実験が必要な業務となっています。

電気 電子回路開発設計者においては、ボードの中の設計だけでなく、全体の回路も含めた装置の制御が求められるため、システム全体を理解する力が重要です。もちろんメカ部分が多い機材であるだけに、当然、機械設計技術者も大きな役割を果たすのですが、機械設計も制御設計と同様に全体を考える力を持ちつつ、個別の技術を深堀できる素養が求められます。

さらに、電子回路やメカ部分を制御するソフトウェア開発技術者も重要です。いわゆる組み込みソフトウェアですが、開発ツールは当社で内製した独自の開発ツールを使っています。そのため、これまでの経験、知識をそのまま使うというわけにはいかないと思いますが、CやC++を使った制御系のプログラム開発経験があれば、キャッチアップすることは可能だと思います。

どの職種もかなり特殊であるだけに、同業界での経験者は少ないように思います。

例えばプロセス開発であれば、半導体メーカーのエンジニアは大歓迎です。実は私自身も以前はデバイスメーカーにおりました。昔はプロセス部分についてデバイスメーカーと半導体製造装置メーカーの双方で取り組んでいましたが、その後分業が進み、現在ではプロセスは装置メーカーが提案するようになっています。どんなガスをどのような圧力・流量で送り出すかなど、プロセスのレシピを始めに開発し提案するのは多くの場合、装置メーカーの役割となっています。性能、歩留まりが高く、かつ生産性の良いプロセスを行うためには、装置の特性とプロセスを最大限にマッチングさせて開発する必要があり装置メーカーだからできる部分が多くなっているのです。

一方、電気・電子回路設計、機械設計、ソフトウェア設計となった場合は、まったく異なる業界であっても、そのスキルが活かせるだろうと考えております。実際、当社にいる中途入社のエンジニアもさまざまな業界から来ています。例えば電気系では携帯電話機メーカーや家電メーカーから、メカ系では自動車関連メーカー、そしてソフトウェア開発では、やはり情報家電メーカーなど、異業界出身のエンジニアも多く参加しています。

その4職種の中で、特に採用ニーズの高い職種は何でしょうか？

プロセス開発、機械設計、電気回路設計、ソフトウェアのいずれのエンジニアも社内で逼迫した状況にありますが、とくにプロセスエンジニアを強化したいと考えています。プロセスエンジニアの場合、お客様との接点が大きく、お客様の近くでプロセス開発を行っています。

当社のお客様は大きく分けて、日本国内、韓国、台湾、米国の4地域があり、それぞれおよそ20％前後となっています。海外の比率は年々伸びてきており、今後さらに増えていくでしょう。そのため海外に駐在して半導体メーカーとともにプロセス開発に取り組んでいるエンジニアも数十名の単位でいるほか、短期の出張で海外に出るケースも頻繁です。

東京エレクトロングループではシリコンのエッチング強化を図っておりますが、これまで国内のみ展開していたものを昨年から世界展開を始めました。それに伴い、現地の開発拠点作りや開発拠点の強化も進めているところです。そのため、海外での仕事が急速に増えているので、国際的な仕事をしたいと思っている人にはうってつけかもしれませんよ。

半導体製造装置の開発においても、技術の進化は早いのでしょうか？

ご存知のとおり、半導体製造プロセスは130nmから90nm、65nm、45nmさらには28nm、22nmとどんどん微細化が進んでいます。またウェーハのサイズもどんどん大きくなり、現在は300mmとなっており、およそ1年半ごとに、製造プロセスが世代交代し、そこで使われる技術も大きく変わってきます。当然、製造装置もそのプロセスの世代交代に合わせた開発、また改善・改良を行っています。もちろん人によって異なりますが、こうした技術進化とともに3〜5年程度で新たな技術を身につけていくことが求められます。また必要に応じて、また本人の目指す技術志向に合わせた異動もしやすいので、技術を深掘りすると同時に幅広い知識を身につけていくことにも可能です。

それだけ世代交代が早いとなると、装置を導入しても数年でリプレースしていかなくてはならないのでは？

半導体メーカーにおいて1つの工場が建つと、それに合わせて半導体製造装置を導入するわけですが、一般的には導入した製造装置を長期にわたって使っていくことになります。世代を超えて使っていくには一度導入した装置に対して改造したり、大幅なアップグレードを行い、新しい技術に対応できることが必要となります。現場にいるフィールドエンジニアがアップグレードを行うケースもありますが、場合によっては開発側で取り組むこともあり、これも重要な業務となっています。

現在、山梨県にあるエッチング装置の開発拠点が、来年東北に移る予定だと伺いました。

そのとおりです。エッチング装置の強化に伴い、新たに建設中の宮城県の新工場に集約します。来年春以降に新工場の稼動が予定されているので、今後すぐに入社していただいた場合、当初は山梨で、その後、宮城へ移ることになります。

最後に、東京エレクトロングループに転職することの一番のメリットについて教えてください。

東京エレクトロンが携わっているのは世界最先端の技術開発であり、世の中で誰もやったことのないことに取り組んでいるのです。こうして生み出した技術が世界中の半導体メーカーの製造を担っており、次世代のメモリーやロジックデバイスの製造のカギを握っているのです。それこそがエンジニアにとっての大きな醍醐味であり、責任感を感じる部分です。ぜひ、われわれといっしょに世界最先端の技術を作っていきましょう。