プラネタリウムの老舗として知られる五藤光学研究所（以下五藤光学）が今年6月より納入を開始した、投影可能恒星数が実に1000万個、明るさにして13.5等星（22cm径の大型望遠鏡でようやく見える程度）までの暗い星を映し出すという超ハイテクのプラネタリウム投影装置「ケイロン」。直径わずか70cmというコンパクトな球状の本体を構成する部品の数は、実に1万点以上に及ぶ。その凝縮感は、まさにミクロコスモスという感がある。
「プラネタリウムづくりは純粋に楽しい。大量生産、大量消費の製品と違って、一つひとつ丹念に手作りした製品がお客様のところに届いているという実感を常にもてるのが、この仕事の面白みだと思います」
　ケイロンの開発責任者、笠原誠R&D主幹は語る。笠原氏は85年、プラネタリウムの開発を志して入社。最初はプラネタリウムのアクセサリー（本体以外の機能部品）設計を手がけ、その後天体望遠鏡開発を経てプラネタリウムの開発全体を見るようになった。光学製品の楽しさ、難しさを熟知しているベテランエンジニアだ。
「開発中はもちろん、いろいろな困難にぶつかります。例えばプラネタリウムの投影可能恒星数を増やすことひとつとっても、単に精密に作ればいいというものではないんです」（笠原氏）

　光学式プラネタリウムが星を映す原理は、光源を細かい穴が無数に開いた原板で遮蔽し、穴から漏れ出た光がドームに映るというもの。この穴の大きさによって、星の明るさが決まってくるのだ。ケイロンが映せるもっとも暗い13.5等星は、夜空のなかで最も明るく輝く恒星、おおいぬ座のシリウス（-1.5等星）の100万分の1の光でしかない。原板にはそれこそ、肉眼でも見えないような細かい穴を開けなければならないのだ。
「今は半導体現像などの技術が発達していますから、微細加工自体はそう難しくはありません。しかし、1μ以下といった小さな穴の場合、大きな穴のときには表れなかった問題が出てくるんです。光が波の性質をもっているということはよく知られていますが、普通にサブミクロンの穴を開けただけでは、光波が拡散して星像がぼやけてしまうんです。詳細は企業秘密なのですが、そうした干渉が起こらないよう光学設計の限界を狙って設計、製造をしています」（笠原氏）
　五藤光学では原板、レンズ、機構、制御用ソフトウェアなど、プラネタリウムを構成する要素技術のほぼすべてを自社で開発している。光を透過させた原板を100倍以上に拡大して投影し、なお星を微細な点で表現できることが要求されるレンズは、カメラ用レンズとはケタがいくつも違ってしまうほどの高精度。そのレンズの研磨も自社で行うという徹底ぶりだ。
「完成したときは、自分で作ったものながら感動しましたよ。公害のない夜空では、天の川ってこんなに明るく光るものだったのだなあと。自分の頭にある星空を再現するために、あらゆる技術を駆使する。そのプロセスもプラネタリウム開発の楽しみです」（笠原氏）

　宇宙を投影するプラネタリウムづくりの仕事は、高度な専門知識を必要とする、極めて特殊なものに見える。が、笠原氏は決してそんなことはないと言う。
「プラネタリウムづくりにおいてもっとも重要な素養は、モノを作ることが好きということだと思います。ウチに入社してくる人材で、プラネタリウムを専門に勉強してきたなどという人はまずいません。プラネタリウムの技術はかなり特殊なものだからです」（笠原氏）
　もっとも、笠原氏が言うモノづくりは、単なる設計や生産の経験とはいささか趣向が異なる。
「プラネタリウムづくりは、ゼロから自分の目指す装置を作り上げるという行為。何かベースとなる技術があって、それを地道に改良していくというスタンスのモノづくりとはまるで違います。自分の得意分野をもつことは大事なのですが、それ以上に、専門以外のことについてでき

　世界で最も細いという5nm幅の線を引くことができる、エリオニクスの電子ビーム描画装置。線幅5nmといえば、ヒト細胞のDNAの2倍強程度という細さで、市販されている最新の半導体製造プロセスの約10分の1のオーダー。量産品向けの機材とは微細の度合いが1ケタ違う、ナノテクの最先端研究に使われる機材だ。
まさに特異なスペックをもつ電子ビーム描画装置は、装置を構成する数々の要素技術も一般的な工業製品とはまったく異なるものが多い。エリオニクスは、それらの技術のほぼすべてを自社で開発。また部品調達も自社で行っているという。
「例えば電子銃に電力を供給する電源。当社製品に使われている電源の加速電圧は100キロボルトという超高電圧ですが、電流のほうはというと、わずか10ナノアンペア以下。そんな電源は世の中にはありません。必然的に自分で開発することになります」
　本目精吾社長は語る。もちろん構成技術だけでなく、それらをアセンブリーするノウハウも独特だ。物質の分子まで見えてきそうな超微細領域では、サンプル部分がごくわずかに動いてしまうだけで、いとも簡単に大きな誤差が生じてしまう。
「描画装置の電子線とサンプルの位置は、理屈のうえでは絶対に動いてはいけない。しかし、実際にはこの地球上で、絶対に動かないものなどあり得ません。それをどううまく最適化させるかがノウハウなんです」（本目氏）

　エリオニクスは大手理化学機器メーカー出身のエンジニア7人が1975年に発足させたメーカー。日本初となる走査型電子顕微鏡の開発を行っていた本目氏も創業時からのメンバーのひとりだ。80年代までは半導体製造装置の開発が主体だったが、半導体の競争が激化した90年代になって、ナノテクノロジーへと本格的に転向した。
「人がやらないこと、できないことがあるとやってみたくなるんですよ」と言う本目氏が世界最高性能の電子ビーム描画装置の開発に乗り出したのも、90年代のことだった。当時、半導体の製造プロセスは130nm前後だったが、そのときITの先端技術を手がけている複数の研究者から、「半導体の密度を今の100倍くらいにしたい。そのために半導体に10nm以下の溝を作りたいんだ。それが可能な装置は作れないか」ともちかけられた。
「当時の世界最高スペックのマシンで30nm。それを一気に3分の1にするのは、かなり大胆なチャレンジでした。が、技術屋として何かいい方法がありそうだなという気もしていたこともあって、開発に乗り出したんです」（本目氏）
　当時、最も細い電子顕微鏡用の電子源をベースに開発。電子顕微鏡とはケタ違いの高エネルギーと安定性の両立に悪戦苦闘した揚げ句、98年に世界のライバルを圧倒する10nm幅の電子描画装置、ELS-7700が完成した。現在は線幅5nm、そして開発部門では今、さらなる微細化と高速化を両立させるという次世代モデルのプロトタイプの製作が着々と進んでいる。その開発速度に追従できる企業は、今のところ存在しない。

　エリオニクスが世界最先端の技術開発へのこだわりを強く見せているのは、エンジニアから経営者となった本目氏のキャラクターの影響も大きい。
「私は初モノが好きなんです。何を作るにしても、初めてというのは楽しいじゃないですか。初めてのモノは作り方も自由。何か面白そうな特性をもつ部品が考案されたと聞いたら、じゃあ試しにそれを使ってみよう、と積極的に試すもよし。あるいは、こういう構造ならもっと良くなるはずだというアイデアが浮かんだら、それもすぐに試せばいい。大勢の人が普通に考える方法を使っても面白くない。新しいから面白い」（本目氏）
技術的に独走しているとはいえ、他メーカーも電子ビーム描画装置の性能向上に必死に取り組んでいる。トップランナーは常にチャレンジを受け